离子铣

编辑：Simone 2024-10-20 17:34:11 512 阅读

离子铣

离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。

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