喷嘴（光刻中用于光刻胶和各种有机溶剂的喷嘴）
编辑：Simone
2025-03-13 20:34:52
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喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，如图 所示。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。
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