硅抛光片表面质量目测检验方法
编辑：Simone
2025-03-06 20:59:36
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《硅抛光片表面质量目测检验方法(GB/T 6624-2009)》代替GB/T 6624—1995《硅抛光片表面质量目测检验方法》。本标准与原标准相比主要有如下变化：修改了高强度汇聚光源照度要求，由不小于16000 lx改为不小于230000 lx：增加了净化室级别要求；扩大了照度计测量范围为0 lx～330000 lx：增加了测量长度工具；更改检测条件中光源与硅片之间的距离要求。
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